Кристаллы кремния вырастят по-новому

<B>Разработчики запатентовали метод в России и США</B><BR> СПб. ЗАО "Кармон" разработало собственную технологию роста монокристаллов кремния на основе тантала. Недавно специалисты фирмы вырастили первые образцы диаметром до 50 мм. <P> После их резки на пластины кристаллы кремния используются в качестве подложек для создания на них светодиодов с излучением в синей и более коротковолновой области спектра.<BR> <B>Своим путем</B><BR> "В основном в России используются методы выращивания кремния на основе сапфиров, в то же время в мире одновременно развивается и другой перспективный метод -- выращивание кристаллов кремния на основе тантала. Мы пошли по второму пути", -- говорит инженер ЗАО "Кармон" Александр Роенков.<BR> "Нам удалось оптимизировать метод роста объемного кремния, -- отмечает Олег Лебедев. -- Для роста низкодефектного кремния мы использовали в качестве материала для изготовления ростового тигля тантал, который может заменить графит в высокотемпературных процессах". Разработчики запатентовали метод в России и США.<BR> <B>Первая ласточка</B><BR> Выращивание кристаллов ведется на установке по росту объемных кристаллов, которую разработали и изготовили специалисты ЗАО "Кармон". "Рост кристаллов можно проводить при температурах до 2400 С в инертной среде или при пониженных давлениях. Внутри кварцевого реактора для роста в чистых условиях имеется возможность создания вакуума выше 10-14 мм ртутного столба", -- говорит генеральный директор ЗАО "Кармон" Олег Лебедев.<BR> Пока ЗАО "Кармон" изготовило и использует только одну установку. Ее примерная стоимость -- $50 тыс. Для организации серийного выпуска и экспорта продукции необходимо как минимум пять установок. "Мы ищем партнеров для развития дела", -- говорит Олег Лебедев. Основными потребителями специалисты "Кармона" на данном этапе считают зарубежные компании. Научно-исследовательские работы ЗАО "Кармон" ведет с середины 90-х годов. В фирме работают восемь человек, в том числе специалисты Физико-технического института имени Иоффе. Фирма арендует помещения в ЛОМО. "Кармон" поставлял кристаллы кремния диаметром 20-30 мм опытными партиями для исследовательских целей в компании Европы и США.<BR> Работы по выращиванию кремния на основе тантала и созданию ростовых установок для этих целей в Петербурге также ведут специалисты ЛЭТИ. Производством ростового оборудования в России занимаются НПФ "ВЭТО при ВНИИТВЧ" (Петербург) и ООО "Завод "Кристалл" (Таганрог). <P> <B>на заметку</B><BR> <B>Карбид кремния</B><BR> - Один из наиболее перспективных полупроводниковых материалов для широкого применения в электронных приборах следующего поколения. Он находит применение в оптоэлектронике, высокочастотных (СВЧ) приборах.<BR> - Работы по его получению идут с середины 90-х гг. Наибольших успехов в выращивании кремния добились США, Германия, Япония и др.