Установка нанесет покрытия

Технология нанесения тонких пленок металлов, сплавов и диэлектриков на поверхность изделий разработана специалистами НИИ электрофизической аппаратуры им. Д.В. Ефремова совместно с НИИ вычислительной математики и процессов управления СПбГУ.

Технология нанесения тонких пленок металлов, сплавов и диэлектриков на поверхность изделий разработана специалистами НИИ электрофизической аппаратуры им. Д.В. Ефремова совместно с НИИ вычислительной математики и процессов управления СПбГУ.<BR> На основе новой технологии создана экспериментальная установка. Она построена по принципу аксиально-симметричного диодного магнетрона. Преимущества магнетронного метода нанесения покрытия -- отсутствие экологически вредных отходов производства, высокая однородность покрытия по всему габариту изделия и др.<BR> Установка способна наносить покрытия на детали и изделия большого размера. Изделия с нанесенными покрытиями могут использоваться в производстве элементов ускоряющих структур линейных ускорителей и циклотронов, медицинской техники и инструментов, оборудования газо- и нефтеперерабатывающего комплекса, продукции машиностроения, приборостроения, микроэлектроники, оптических устройств, бытовой техники. (Э.У.)