Сотрудники научного центра мирового уровня "Передовые цифровые технологии", работающего на базе Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого (СПбПУ) создали импортозамещающий технологический комплекс, с помощью которого можно выпускать наноструктуры для работы микроэлектронного оборудования.
Как рассказали 3 октября в пресс-службе Министерства науки и высшего образования РФ, данная разработка поможет России обрести технологический суверенитет в области микроэлектроники. Комплекс состоит из двух частей. Первая представляет собой промышленный образец установки безмасочной нанолитографии, вторая — промышленный образец установки плазмохимического травления кремния.
Также специалисты разработали отдельное программное обеспечение и сейчас дополняют софт системой обратной связи, чтобы снизить человеческий фактор при эксплуатации. При этом стоимость российской установки создавшие её учёные оценивают в 5 млн рублей, тогда как стоимость аналогичного иностранного оборудования достигает 10–13 млрд рублей, пишет РИА Новости со ссылкой на Минобрнауки РФ.
Поскольку процесс литографии (перенос изображения с плоской печатной формы на подложку — Ред.) на первом этапе создания наноструктур требует больших финансовых и временных затрат при использовании зарубежного оборудования, учёные СПбПУ предложили в качестве альтернативы технологию безмасочной нанолитографии. Также на отечественном комплексе для выпуска микроэлектронных наноструктур можно производить кремниевые мембраны для судовых датчиков избыточного давления.
“
"Созданные на установке плазмохимического травления мембраны превосходят по надёжности и чувствительности изготовленные методами жидкостного или лазерного травления. Кроме того, они являются полностью отечественным продуктом", — отметил руководитель научной группы, заведующий лабораторией "Технологии материалов и изделий электронной техники" СПбПУ Артём Осипов.
В дальнейшем специалисты СПбПУ планируют внедрить машинное обучение на обе установки и продолжить разработку технологий в том числе для силовой электроники.
По словам Артёма Осипова, благодаря применению безмасочной нанолитографии в совокупности с плазмохимическим травлением срок службы радиолокационных приборов может увеличиться более чем в 20 раз, а использование данной технологии при производстве солнечных панелей позволит не только уменьшить их вес и габариты, но и обеспечить возможность работы в пасмурную погоду при сохранении КПД.
Ранее "Деловой Петербург" рассказывал, что производители электроники на российской элементной базе получат приоритет при проведении госзакупок. Соответствующее постановление правительства РФ премьер-министр Михаил Мишустин подписал в марте 2023 года. Несмотря на это, минувшим летом производители отечественной электроники жаловались на слишком сложные критерии для попадания в специальный реестр, дающий возможность работать с госзаказами. Подробности — в материале Карашаш Ногаевой.
