Установки вырастят кремний

Он пойдет на силовую электронику

<B>Он пойдет на силовую электронику</B><BR> ООО "НПФ "ВЭТО при ВНИИТВЧ" завершает изготовление трех вакуумных установок для выращивания особо чистого монокристаллического кремния. <P> Они позволяют выращивать кристаллы диаметром до 400 мм, длиной от 1 до 3 м. Это самые большие камеры, которые когда-либо производились в России.<BR> Первая из трех установок в конце января будет отправлена заказчику. Камеры изготовлены по заказу завода полупроводникового кремния Горно-химического комбината в Железногорске. Стоимость каждой камеры -- от 2,5 млн рублей.<BR> В 2003 г. на Горно-химическом комбинате в Железногорске планировалось произвести примерно 8 т монокристаллического кремния, однако еще год назад были получены заявки на выпуск еще 40 т. В связи с этим на заводе решили приобрести новые установки по производству кремния. <P> <B>Пошли в рост</B><BR> Производством ростового оборудования для выращивания кремния в России занимаются НПФ "ВЭТО при ВНИИТВЧ" и ООО "Завод Кристалл" (Таганрог). "Более 10 лет установки для выращивания кристаллов кремния в России практически не производились, не было заказчиков. Предприятия использовали либо установки, сделанные ранее, либо покупали импортные установки. В мире лидерами по производству ростового оборудования считаются США и Япония", -- говорит главный инженер ООО "НПФ "ВЭТО при ВНИИТВЧ" Илья Шапиро.<BR> "На 2004 г. мы имеем портфель заказов, -- говорит Илья Шапиро. -- В частности, мы получили заказ на разработку и изготовление двух вакуумных установок для очистки отработанного урана. Работа ведется по заказу Минатома РФ".<BR> В ООО "НПФ "ВЭТО при ВНИИТВЧ" также разработаны технологии и установки для зонной очистки германия, антимонида индия. <P> <B>Справка</B><BR> В производстве ВЭТО при ВНИИТВЧ занято около 100 человек.<BR> <B>Производственные мощности составляют около</B><BR> 2 тыс. м2.<BR> Монокристаллический кремний -- распространенный полупроводниковый материал. Используется в производстве приборов силовой электроники, сверхбольших интегральных схем, информатике и телемеханике, бытовой технике.